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射频氮化镓电源在柔性薄膜太阳能电池（如CIGS）磁控溅射沉积设备中的工艺优化作用

摘要

本报告聚焦于射频氮化镓（GaN）电源技术在柔性薄膜太阳能电池，特别是铜铟镓硒（CIGS）磁控溅射沉积设备中的工艺优化作用，深入分析了其稳定性对电池制备工艺重复性、均匀性及光电转换效率的深远影响。

研究范围涵盖衬底温度敏感的低熔点柔性基板（如聚酰亚胺）上的CIGS吸收层制备工艺。核心发现表明，新一代GaN射频电源凭借其卓越的等离子体稳定性、超快速的阻抗匹配响应及微秒级的电弧能量管理，直接解决了传统射频电源在制备多元化合物半导体薄膜时面临的组分偏离、缺陷密度高及成膜均匀性差等痛点。

报告逐章递