CN119492979A 一种基于等效建模的电流充放电tsv键合前检测方法 （西安电子科技大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119492979A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202411619357.8

(22)申请日2024.11.13

(71)申请人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人董刚王理航朱樟明

(74)专利代理机构西安嘉思特知识产权代理事

务所(普通合伙)61230

专利代理师王丹

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

权利要求书3页说明书11页附图3页

(54)发明名称

一种基于等效建模的电流充放电TSV键合前

检测方法

(57)摘