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- 2026-09-03 发布于浙江
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ICS77.060
CCSH25
中国腐蚀与防护学会团体标准
T/CSCP0059.3-2025
微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传
感器
第3部分：测试方法
Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip
andsensor——
Part3：Testmethod
2025-09-01发布2025-10-01实施
中国腐蚀与防护学会发布
T/CSCP0059.3-2025
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