原创力文档产品系列介绍
射频电源系列：
HSP系列射频电源可提供1~5kW射频功率，拥有更强的功率
和阻抗测量性能，能够在13.56MHz固定频率、50欧姆和非50
欧姆负载下（电压驻波比(VSWR)超过3:1），带来稳定的功率输
出和控制性能。能够快速的与等离子阻抗保持实时同步匹配，从而
实现工艺的精确性、可重复性。
产品特点
高效E类开关转换模式；
采用高频晶体管，体积小，寿命长，损耗低，结构紧凑；
精密闭环控制，频率误差小；
输出功率稳定度高；
配套自动匹配模块
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