SnSe基纳米薄膜的气相沉积制备及其在光电探测中的应用.pdf

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SnSe基纳米薄膜的气相沉积制备及其在光电探测器中的应用

摘要

本文采用气相沉积法制备了SnSe及衍生纳米薄膜材料。通过研究气相沉

积中薄膜的生长规律,实现了一步可控制备SnSe纳米薄膜、SnSe/SnSe,具

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体如下:

(1)以SnSe粉末为单一前驱体,通过气相沉积法制备了SnSe薄膜。通

过选择合适的沉积基

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