原创力文档国家标准《砷化镓基化合物半导体外延片》
《预审稿》编制说明
一、工作简况
1立项目的和意义
2025年全球砷化镓晶圆和外延片市场规模达到一定规模，2028年预计达到6.18亿
美元。中国砷化镓晶圆和外延片市场规模也在不断扩大，显示出强劲的增长潜力。砷化
镓基发光二极管外延片的制备技术已经非常成熟，包括分子束外延法（MBE）、金属有机
MOCVD
化学气相沉积法（）等。这些技术能够生产高质量的外延片，满足市场需
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