CN119843238A 冷却辊、冷却装置、蒸发镀膜设备及冷却方法 （安迈特科技(北京)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119843238A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202311338787.8

(22)申请日2023.10.16

(71)申请人安迈特科技（北京）有限公司

地址102400北京市房山区弘安路87号院5

号楼2层222室

(72)发明人孙欣森张健王超康远浩何全友

(74)专利代理机构北京睿驰通程知识产权代理事务所(普通合伙)11604

专利代理师张文平

(51)Int.Cl.

C23C14/56(2006.01)

C23C14/24(2006.01)

C23C14/30(2006.01)

C23C4/10(2016.01)

C23C4/134(2016.01)

C23C14/58(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图3页

(54)发明名称

冷却辊、冷却装置、蒸发镀膜设备及冷却方

法

(57)摘要

CN119843238A本公开提供了一种冷却辊、冷却装置、蒸发镀膜设备及冷却方法，其中，冷却辊包括：在所述冷却辊表面喷涂陶瓷涂层，所述陶瓷涂层包括绝

CN119843238A

CN119843238A权利要求书