2026年岗位知识竞赛-ASM工序知识竞赛历年参考题库含答案解析.docxVIP

2026年岗位知识竞赛-ASM工序知识竞赛历年参考题库含答案解析

一、选择题

从给出的选项中选择正确答案（共100题）

1、在ASM（原子层沉积）工序中，前驱体脉冲时间的主要影响因素是什么？

A.基板的颜色和形状

B.前驱体的饱和吸附特性

C.腔室的体积大小

D.操作人员的经验水平

2、ASM工艺中，脉冲间隔（purge）阶段的主要作用是什么？

A.加热基板温度

B.清除腔室内多余的前驱体和副产物

C.增加腔室压力

D.冷却工艺气体

3、在ASM工序中，下列哪种因素不会影响薄膜的均匀性？

A.基板在腔室内的放置位置

B.前驱体流量的稳定性

C.操作人员的着装颜色

D.腔室温度分布

4、ASM工艺常用的前驱体输送方式是什么？

A.直接倾倒液态前驱体

B.载气携带蒸气进入反应腔

C.手工涂抹前驱体

D.高压喷射液态前驱体

5、在ASM沉积过程中，基板温度的主要作用是什么？

A.改变基板颜色

B.控制表面反应速率和薄膜致密性

C.增加腔室压力

D.减少气体消耗

6、ASM工艺中，脉冲顺序通常为？

A.前驱体A脉冲→purge→前驱体B脉冲→purge→循环

B.同时通入两种前驱体→purge

C.只通入一种前驱体重复脉冲

D.前驱体A和前驱体B混合后通入

7、下列哪种情况可能导致ASM工艺中出现气相成核？

A.脉冲时间过短