CN119571444A 碳化硅晶体的生长装置及方法 （江苏集芯先进材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119571444A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202411606618.2

(22)申请日2024.11.12

(71)申请人江苏集芯先进材料有限公司

地址221000江苏省徐州市徐州高新技术

产业开发区电子信息产业园二期二号

厂房

(72)发明人胡家乐

(51)Int.Cl.

C30B23/00(2006.01)

C30B29/36(2006.01)

C23C14/54(2006.01)

C23C14/24(2006.01)

权利要求书2页说明书13页附图7页

(54)发明名称