CN119188430A 一种支持硅片尺寸切换的抛光控制方法、设备及硅片 (上海中欣晶圆半导体科技有限公司).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.23万字
  • 约 12页
  • 2026-09-07 发布于重庆
  • 举报

CN119188430A 一种支持硅片尺寸切换的抛光控制方法、设备及硅片 (上海中欣晶圆半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119188430A

(43)申请公布日2024.12.27

(21)申请号202411577142.4

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人上海中欣晶圆半导体科技有限公司

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档