半导体薄膜沉积设备喷淋板技术要求.pdfVIP

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半导体薄膜沉积设备喷淋板技术要求.pdf

ICS21.020

CCSJ70

团体标准

T/CAEEXX-202X

半导体薄膜沉积设备喷淋板技术要求

Technicalrequirementsforsprayplateofsemiconductorthinfilmdeposition

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