CN119194418A 一种控制mocvd设备内外腔流量比的方法 （苏州中科重仪半导体材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119194418A

(43)申请公布日2024.12.27

(21)申请号202411573872.7

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人苏州中科重仪半导体材料有限公司

地址215000江苏省苏州市吴江区江陵街

道龙桥路1368号青禾创客五楼503室

(72)发明人张天明聂海鹏姚丹丹

(74)专利代理机构苏州汇智联科知识产权代理

有限公司32535

专利代理师李秀娟

(51)Int.Cl.

C23C16/52(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

一种控