GBT 43894.3-2026 半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、ESBIR）标准立项发展报告.docx

半导体晶片近边缘几何形态评价第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、ESBIR）标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorWaferNear-EdgeGeometricMorphologyCharacterization—Part3:FanSectorFlatnessMethod(ESFQR,ESFQD,ESBIR)

摘要

关键词：半导体晶片；近边缘几何形态；扇形区域平整度；ESFQR；ESFQD；ESBIR；标准立项

Keywords

SemiconductorWafer;