GBT 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用标准立项发展报告.docx

洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:CleanroomsandAssociatedControlledEnvironments—Part17:ApplicationofParticleDepositionRate

摘要

关键词：洁净室；受控环境；粒子沉积速率；表面污染；标准化；ISO14644

Abstract

WiththerapiddevelopmentofChinashigh-techindustries,cleanroomsandassoci