原创力文档微机电系统（MEMS）技术玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Micro-Electro-MechanicalSystem(MEMS)Technology—MeasurementMethodforGlassFritBondingStrengthUsingMicroChevronTest(MCT)
摘要
随着微机电系统（MEMS）技术在消费电子、汽车电子、生物医疗及航空航天等领域的广泛应用，玻璃浆料键合（GlassFritBonding）作为晶圆级气密封装的关
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