CN119446879A 离子束阻挡装置及半导体工艺设备 (北京北方华创微电子装备有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-11 发布于重庆
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CN119446879A 离子束阻挡装置及半导体工艺设备 (北京北方华创微电子装备有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119446879A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411578177.X

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人田甲

(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理

有限公司11112

专利代理师彭瑞欣王婷

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

H01J37/05(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利

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