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·6·《测控技术}2002年第21卷第7期

文章编号：1000—8829(2002)07—0006一0,4

微机械薄膜应力的在线测试结构

n．SituTestStructuresofMicromachinedThinFilms

(东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室，江苏南京210096)刘祖韬，黄庆安，姜岩峰

摘要：微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响，向下偏转，通过光学或表面台阶仪测出弯曲量从而检

因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必测出薄膜应力和杨氏模量；如果在这些梁上施加负载，

须的：介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方在负载作用下，梁重新弯曲，通过比较无负载的情况，

法，详细分析了各种方法的特点。对于MEMS薄膜应就可以检测出薄膜的应力和杨氏模量，施加负载常用

力测试结构设计有一定的参考价值。的办法有静电牵引法和压痕法。②动态法。即测量梁

关键词：在线；应力；微结构；薄膜；测量(或桥)的自然谐振频率