CN119461229A 一种mems器件及其制造方法、电子装置 （中芯集成电路（宁波）有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119461229A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411581339.5

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人中芯集成电路（宁波）有限公司

地址315800浙江省宁波市北仑区小港街

道安居路335号3幢、4幢、5幢

(72)发明人葛铭辉杨国煌朱丰徐日

(74)专利代理机构北京市磐华律师事务所

11336

专利代理师袁铭广

(51)Int.Cl.

B81B7/02(2006.01)

B81B7/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

G01C19/00(2013.01)