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- 2026-09-12 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119725204A
(43)申请公布日2025.03.28
(21)申请号202411553960.0
(22)申请日2024.11.01
(71)申请人拓荆键科（海宁）半导体设备有限公
司
地址314499浙江省嘉兴市海宁市海宁经
济开发区芯中路8号3幢
(72)发明人赵卓潮
(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
司31100
专利代理师徐伟
(51)Int.Cl.
H01L21/683(2006.01)
H01L21/687(2006.01)
权利要求书2页说明书11页
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