ISO 14880-22024 光学和光子学 - 微透镜阵列 - 第2部分波前像差的测试方法标准立项发展报告.docxVIP

光学和光子学-微透镜阵列-第2部分：波前像差的测试方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Opticsandphotonics—Microlensarrays—Part2:Testmethodsforwavefrontaberrations

摘要

关键词：微透镜阵列；波前像差；测试方法；国际标准；光学检测；微光学

Keywords:Microlensarrays;Wavefrontaberrations;Testmethods;Internationalstandards;Opticalmetrology;Micro-optics

1引言

1.1研究背景

微透镜阵列是由一系列微型透镜按一定规律排列而成的光学元件，其单个透镜单元的尺寸通常在数微米至数毫米之间。自20世纪80年代微光学技术兴起以来，微透镜阵列凭借其体积小、重量轻、集成度高等独特优势，已在波前传感、光束匀化、光学互连、虚拟现实显示、医疗内窥成像及激光雷达等领域得到广泛应用。近年来，随着超精密加工技术和纳米压印技术的突破，微透镜阵列的设计自由度与制造精度不断提升，其光学性能的评价需求也日益迫切。

在微透镜阵列的诸多性能参数中，波前像差是衡量其成像质量和光束控制能力的核心指标。波前像差直接反映了微透镜阵列在实际使