GBT 47890-2026 高分辨率干膜光刻胶.pptxVIP

GB/T47890-2026高分辨率干膜光刻胶

目录02技术要求01标准概述03测试方法04应用领域05质量控制06附录与支持

标准概述01

高分辨率干膜光刻胶是半导体、微电子及PCB制造的关键材料，此前国内缺乏统一的技术规范，导致产品质量参差不齐，制约产业升级。该标准的制定首次系统规范了术语、技术要求和测试方法，为行业提供权威依据。背景与目的填补国内标准空白随着5G、AI等新兴技术对精密图形加工需求的提升，标准通过明确分辨率、附着力、显影性能等核心指标，引导企业突破技术瓶颈，加速国产高端光刻胶的研发与应用。推动产业高端化发展标准参考国际先进光刻胶技术规范（如SEMI标准），助力国内产品参