SJT 12221-2026 电子级四(甲乙氨基)锆 标准立项发展报告.docx

电子级四(甲乙氨基)锆标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeTetrakis(ethylmethylamino)Zirconium

摘要：随着集成电路制程持续微缩，高k栅介质材料已成为先进逻辑器件和动态随机存取存储器（DRAM）制造的核心技术支撑。四(甲乙氨基)锆作为原子层沉积（ALD）工艺制备二氧化锆薄膜的关键前驱体，其质量水平直接影响薄膜均匀性、介电性能和器件良率。长期以来，我国该材料市场高度依赖进口，且缺乏统一的质量评价与检验规范。为破解这一瓶颈，工业和信息化部立项制定电子行业标准SJ/T1222