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洁净车间环境监测SOP.docx

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    洁净车间环境监测SOP

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、目的 2

    二、适用范围 3

    三、术语定义 4

    四、职责分工 6

    五、仪器设备与要求 12

    六、监测环境标准 15

    七、监测频率规定 18

    八、监测点设置 20

    九、浮尘粒子监测程序 22

    十、沉降菌监测程序 25

    十一、浮浮菌监测程序 28

    十二、表面微生物监测程序 30

    十三、压差与监测程序 33

    十四、温度湿度监测程序 37

    十五、监测结果记录与评价 40

    十六、异常情况处理措施 42

    十七、偏差调查与纠正 45

    十八、记录管理与存档 4

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