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双阶梯型薄膜体声波谐振器有限元仿真分析.pdfVIP

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  • 2026-09-16 发布于江西
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双阶梯型薄膜体声波谐振器有限元仿真分析.pdf

    电子元件与材料第43卷第1期1月2024年

    ElectronicComponentsandMaterialsVol.43No.1Jan2024

    双阶梯型薄膜体声波谐振器有限元仿真分析

    1,2211,2

    周晓伟,吴秀山,孙坚,徐霖

    (1.中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018;

    2.浙江水利水电学院电气工程学院,浙江杭州310018)

    摘要:为了抑制薄膜体声波谐振器(FBAR)的寄生谐振同时满足5G通信的高频需求,基于ComsolM

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