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洁净车间压差管控操作规范.docx

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    洁净车间压差管控操作规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、目的与适用范围 3

    二、洁净车间压差设计标准与要求 5

    三、压差监控设备安装与校验规范 9

    四、压差监测与日常巡程序 22

    五、压差值设置与动态平衡控制标准 29

    六、压差系统维护与定期检查计划 35

    七、监测记录与数据档案管理要求 43

    目的与适用范围

    目的

    1、明确压差管控的总体目标

    本规范旨在通过建立洁净车间压差管控操作的统一标准与规范要求，系统强化洁净区域内空气压差梯度的稳定、合理与持续可控，从源头抑制未经处理或未经清洁的空气向高洁净等级区域渗透，有效降低交叉污染风险

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