T/CI 609-2024碳化硅衬底研磨抛光工艺技术规范.pdf

T/CI609-2024《碳化硅衬底研磨抛光工艺技术规范》的主要内容包括以下几个方面：

1.工艺流程：标准详细描述了碳化硅衬底的研磨抛光工艺流程，包括工艺步骤、使用的设备和耗材、工艺参数、操作步骤和注意事项等。

2.设备与材料：标准列出了用于碳化硅衬底研磨抛光工艺所需的设备与材料，包括各种型号的研磨机、抛光机、磨料、抛光液、清洗剂等，并对这些设备和材料的性能、规格、使用方法等进行了规定。

3.操作要求：标准对碳化硅衬底研磨抛光工艺的操作要求进行了详细的规定，包括操作人员的资质、操作前的准备工作、操作过程中的注意事项、操作后的清洁和保养等。

4.质量要求：标准对碳化硅衬底研磨抛光后的质量要求进行了规定，包括表面粗糙度、尺寸精度、表面完整性、均匀性等方面的要求，并提供了相应的检测方法和验收标准。

5.安全与环保：标准强调了碳化硅衬底研磨抛光工艺的安全与环保要求，包括操作过程中的安全防护措施、废弃物处理方法、废水排放标准等，以确保生产过程中的安全和环保。

以上是T/CI609-2024《碳化硅衬底研磨抛光工艺技术规范》的主要内容，具体细节建议参考相关文件。