T/CI 961-2025半导体设备用碳化硅陶瓷零部件.pdf

T/CI961-2025半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的主要内容如下：

本标准规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

1.术语和定义：明确半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义，以便正确理解和使用该产品。

2.产品分类：根据产品的用途和结构，将半导体设备用碳化硅陶瓷零部件分为不同类型，如固定件、连接件、支撑件等。

3.技术要求：包括材料要求、尺寸精度要求、性能要求、耐腐蚀性要求等。材料要求应符合相关材料标准，性能要求应满足使用要求，如高温稳定性、机械强度、硬度等。

4.试验方法：详细说明如何进行各种试验，包括外观检查、尺寸测量、性能测试等，以确保符合技术要求。

5.检验规则：根据产品的特性和使用要求，制定合理的检验规则，包括抽样方案、合格判定准则等。

6.标志、包装、运输和贮存：规定产品的标识方法、包装方式、运输和储存条件，以确保产品在运输和储存过程中保持良好状态。

以上内容仅供参考，具体内容可能会根据实际情况而产生变化。