原创力文档PAGE
电子信息制造业AR光波导工艺规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则与适用范围 3
二、光波导原材料选型与检验规范 4
三、光波导基底材料清洗与前处理规范 7
四、纳米压刻与光刻工艺规范 10
五、波导光栅膜刻蚀工艺规范 14
六、光学薄膜沉积与溅射规范 18
七、表面粗化与微结构处理规范 20
八、紫外光化与涂布工艺规范 24
九、光波导组件光学耦合工艺规范 27
十、光波导模组组装工艺规范 30
十一、光学胶水点胶与合胶规范 33
十二、精密点胶与固化工艺控制 36
十三、波导透过率测试与检测规范 39
十四、
文档评论（0）