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半导体芯片生产节能目标考核制度.docx

半导体芯片生产节能目标考核制度.docx

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    半导体芯片生产节能目标考核制度

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则与适用范围 2

    二、组织架构与职责分工 4

    三、能耗考核指标设定与标准 6

    四、年度能耗计划编制与分解 10

    五、洁净室能耗专项管控措施 12

    六、生产设备运维与节能设计要求 13

    七、动力机房能效优化管理 16

    八、工艺用气用水循环节能目标 18

    九、能源数据采集与数字化计量体系 21

    十、能耗定期监测与分析 24

    十一、节能技术创新与应用 27

    十二、考核结果评价与计算方法 30

    十三、奖惩机制与激励措施 33

    十四、节能培训与文化建设 36

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