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洁净车间环境管控作业SOP.docx

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    洁净车间环境管控作业SOP

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、目的 4

    二、适用范围 4

    三、术语与定义 6

    四、洁净区域分级标准 13

    五、组织架构与职责 17

    六、洁净室人员进入程序 20

    七、更衣室操作规程 22

    八、人员出入通道管理要求 24

    九、洁净设备运行技术规范 26

    十、空气净化系统监控作业 29

    十一、过滤系统滤芯更换与维护计划 32

    十二、温湿度环境控制标准 34

    十三、压差监控与调整 38

    十四、空气尘粒子监测方案 40

    十五、微生物监测与评价标准 42

    十六、地面清洁作业规程 4

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