飞秒激光刻写光波导技术研究与应用.pdfVIP

一、飞秒激光刻写光波导的意义

光功率分配器在光通信系统，光纤用户网，光局域网等

领域中被广泛应用，它常常用来实现对光路连接，光信号功

率分配，各器件之间的耦合控制等。在大量应用于光接入网

中的无源器件中，光功率分配器和波分复用器最为重要，因

为它们是无源光接入网（PON）的。

飞秒激光以其超短、超强和超强聚焦能力被越来越多的

应用到材料的微加工上，并显示出其前所未有的独特优势。

因其脉宽可短至4fs(1fs=10-15)，峰值功率高达帕瓦量级

（1PW=1015W），聚焦功率密度达到1020-1022W/cm2。飞

秒激光可将其能量全部、快速、准确地集中在限定作用区域，

实现对玻璃、陶瓷、、塑料、聚合物、树脂等材料的

微纳尺寸加工。利用飞秒激光的光波导易于和光纤通信

系统耦合且损耗小，在频域中呈现出丰富的传输特性，成为

光纤器件的研究热点。与离子注入法和热扩散型离子交换法

等目前常用的制作方法相比，飞秒激光制作光波导可在室温

环境下进行、过程简单、波导结构在高温时仍能保持良好的

质量和稳定性。利用计算机精密控制飞秒激光加工平台，可

以在材料的任意位置制得任意形状的二维、三维或单模

光波导。