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环境与静电对集成电路封装的影响及应对措施.pdf

环境与静电对集成电路封装的影响及应对措施.pdf

    现代发达国家经济发展的重要支柱之一--集成电路(以下称IC)产业发展十分迅

    速。自从1958年世界上第一块IC问世以来，特别是近20年来，几乎每隔2-3

    年就有一代产品问世，至目前，产品以由初期的小规模IC发展到当今的超大规

    模IC。

    IC设计、IC制造、IC封装和IC测试已成为微电子产业中相互独立又互相关

    IC生产工艺要求使用往被人们所忽视尤其在微电子技术领域它给我们造成的危害却是惊人的据报道每年因静电造成直接经济损失高达几亿元人民币静电危害以成为发展微电子工业的重大障碍在半导体器件生产车间由于尘

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