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碳化硅功率器件生产工艺手册.docx

碳化硅功率器件生产工艺手册.docx

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    碳化硅功率器件生产工艺手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、碳化硅功率器件概述与特性 4

    二、碳化硅衬底生长与晶圆加工 6

    三、碳化硅晶片制造与表面处理 9

    四、碳化硅外延生长工艺及控制 11

    五、碳化硅外延表面清洗与检测 14

    六、碳化硅光刻图形化工艺 19

    七、碳化硅离子注入与掺杂工艺 22

    八、碳化硅高温退火激活工艺 28

    九、碳化硅金属化与电极形成 31

    十、碳化硅钝化层沉积工艺 35

    十一、碳化硅背面减薄与抛光 38

    十二、碳化硅晶体划片工艺 42

    十三、碳化硅功率器件内部封装工艺 44

    十四、碳化硅

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