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等离子体沉积和刻蚀设备项目安全评估报告.docx

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目安全评估报告

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目安全评估报告

    目录

    TOC\o1-9概论 5

    一、安全评价程序与评价方法 5

    (一)、安全评价程序 5

    (二)、划分评价单元 6

    (三)、确定采用的安全评价方法 8

    二、事故原因分析及事故后果预测 10

    (一)、事故案例及原因分析 10

    (二)、事故后果预测 11

    三、定性、定量安全评价 13

    (一)、安全管理单元 13

    (二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 15

    (三)、生产单元 16

    (四)、公用工程及辅助设施单元 19

    四、评价等离子体沉积和刻蚀设备

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