摘要
宽带隙半导体材料氧化锌(ZnO)凭借其优异的光敏性、无毒特性、储量丰富以及
制备成本低等优势,成为备受关注的功能材料。该材料广泛应用于光催化、抗菌、防紫
外线等领域,更在紫外光电探测器、激光器、可塑性人工突触以及场效应晶体管等前沿
研究中展现出重要价值。然而,传统ZnO基金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)
受限于复杂的界面工程和制备工艺,导致ZnO沟道与电介质界面存在不可避免的缺陷,
这引发了功耗上升和载流子迁移率下降的双重问题。更为突出的是,现有ZnO器件普遍
存在功能
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