TCSCP0059.4-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第4部分:元器件选型及测试.pdfVIP

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  • 2026-09-24 发布于湖北
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TCSCP0059.4-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第4部分:元器件选型及测试.pdf

1Cs77.060

ICS77.060

CCSH25

CCSH25

sc

中国腐蚀与防护学会团体标准

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.4-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感

弟4分:元器件选及测试

第4部分:元器件选型及测试

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

andsensor

andsensor——

Part4:Componentselectingandtesting

2025-09-01发

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