TCSCP0059.1-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第1部分:通用要求.pdfVIP

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  • 2026-09-24 发布于湖北
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TCSCP0059.1-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第1部分:通用要求.pdf

ICS77.O6O

ICS77.060

CCSH25

CCSH25

C

中国腐蚀与防护学会附体标准

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.1-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传

感器

感器

第1部分;通用要求

第1部分:通用要求

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

andsensor

andsensor——

Part1:Generalrequirements

Part

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