TCSCP0059.5-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第5部分:电路设计及测试.pdfVIP

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  • 2026-09-24 发布于湖北
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TCSCP0059.5-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第5部分:电路设计及测试.pdf

ICS77.O6O

ICS77.060

CCSH25

CCSH25

C

中国腐蚀与防护学会团体标准

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.5-2025

微机申糸经(MEMS)材料腐蚀不片及传局

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感

第5部分:申路设计及测试

第5部分:电路设计及测试

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

andsensor

andsensor——

Part5:Circuitdesignandtestin

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