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管式PECVD_设备腔内大容量石墨舟力学性能的数值分析.docx

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    研究报告

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    1-

    管式PECVD_设备腔内大容量石墨舟力学性能的数值分析

    目录

    一、管式PECVD设备腔内大容量石墨舟概述 4

    1.管式PECVD设备的工作原理 5

    2.大容量石墨舟在PECVD设备中的作用 7

    3.石墨舟的结构特点 7

    二、石墨材料力学性能研究方法 8

    1.力学性能测试方法 8

    2.有限元分析方法 8

    3.实验数据采集与分析 9

    三、有限元模型建立 9

    1.几何模型的建立 10

    2.材料属性定义 12

    3.边界条件与载荷设置 12

    四、腔内应力分析 14

    1.应力分布研究 14

    2.应力集中区域分析 15

    3.应力与温度

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