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- 2026-09-27 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119419121A
(43)申请公布日2025.02.11
(21)申请号202411547078.5
(22)申请日2024.10.31
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地址100176北京市大兴区北京经济技术
开发区文昌大道8号
(72)发明人胡苗苗
(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限
公司11505
专利代理师尚文文
(51)Int.Cl.
H01L21/3065(2006.01)
H01J37/32(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
权利要求
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