CN118990183A 减薄晶圆表面全覆盖清洁方法及减薄设备 (江苏京创先进电子科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-27 发布于重庆
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CN118990183A 减薄晶圆表面全覆盖清洁方法及减薄设备 (江苏京创先进电子科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118990183A

(43)申请公布日2024.11.22

(21)申请号202411480589.XB24B41/06(2012.01)

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