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- 2026-09-29 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118999377A
(43)申请公布日2024.11.22
(21)申请号202411463815.3
(22)申请日2024.10.21
(71)申请人无锡卓海科技股份有限公司
地址214028江苏省无锡市新吴区珠江路
97号
(72)发明人戴丹蕾相宇阳俞胜武
(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司
11332
专利代理师白云
(51)Int.Cl.
G01B11/06(2006.01)
权利要求书2页说明书9页附图5页
(54)发明名称
薄膜厚度的测量方法和装置
(57)摘要
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