T_CAEPI《微机电系统(MEMS)压电麦克风 压电薄膜及器件技术要求》.doc

T_CAEPI《微机电系统(MEMS)压电麦克风 压电薄膜及器件技术要求》.doc

CAEPIXXX-2016

团体标准

T/CAEPI□□-20□□

微机电系统(MEMS)压电麦克风压电薄膜及器件技术要求

Technicalrequirementsofpiezoelectricfilmanddeviceformicro-electro-mechanicalsystem(MEMS)piezoelectricmicrophone

(征求意见稿)

中国环境保护产业协会发布20□□-□□-□□

中国环境保护产业协会发布

20□□-□□-□□实施

附件2:ICS号

附件2:

ICS号

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