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- 2026-10-01 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119542162A
(43)申请公布日2025.02.28
(21)申请号202411455773.9
(22)申请日2024.10.17
(71)申请人启元实验室
地址100084北京市海淀区紫雀路55号院8
号楼-1至6层101
(72)发明人邢飞彭晶晶鲁文帅孙婷
吴涛冯禹豪
(74)专利代理机构北京律和信知识产权代理事
务所(普通合伙)11446
专利代理师刘兴何春晖
(51)Int.Cl.
H01L21/66(2006.01)
G01L1/25(2006.01)
权利要
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