CN119008448A 边缘不完整区域wat测试方法、系统及可读存储介质 （杭州积海半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119008448A

(43)申请公布日2024.11.22

(21)申请号202411471851.4

(22)申请日2024.10.22

(71)申请人杭州积海半导体有限公司

地址311225浙江省杭州市钱塘新区义蓬

街道江东大道3899号709-7号

(72)发明人赵志伟杨峰赵利华孔建业

(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务

所(普通合伙)31237

专利代理师顾丹丽

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图2页

(54)发明名称

边缘不