CN119008500A 一种半导体基板清洁装置及方法 (沈阳芯达科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-10-01 发布于重庆
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CN119008500A 一种半导体基板清洁装置及方法 (沈阳芯达科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119008500A

(43)申请公布日2024.11.22

(21)申请号202411463775.2B08B1/12(2024.01)

B08B5/04(2006.01)

(22)申请日2024.10.21

B08B11/02(2006.01)

(71)申请人沈阳芯达科技有限公司B08B13/00(2006.01)

地址110167辽宁省沈阳市浑南区智慧二

街400-1号2门(A1-2)

(72)发明人魏猛张爽

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