CN119008510A 一种采用末端执行器的晶圆传输方法 （上海果纳半导体技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119008510A

(43)申请公布日2024.11.22

(21)申请号202411487067.2

(22)申请日2024.10.24

(71)申请人上海果纳半导体技术有限公司

地址200120上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区临港新片区博艺路99

号、111号6幢1层101室

(72)发明人张海天葛敬昌薛增辉冯启异

叶莹

(74)专利代理机构苏州汇诚汇智专利代理事务

所(普通合伙)32623

专利代理师张聪

(51)Int.Cl.

H01L21/687(2006.01)

H01L21/677(2006.01)