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激光干涉仪臂长稳定性试验规范

1范围

本规范规定了激光干涉仪臂长稳定性试验的试验条件、试验设备、试验程序、数据处理方法、结果判定准则以及试验报告要求。本规范适用于各类基于激光干涉原理的精密测量设备臂长稳定性性能的评定与验证，涵盖位移测量类激光干涉仪、引力波探测激光干涉仪、光学相干层析成像干涉仪等产品的研发、生产、检验及校准环节。对于特殊定制化激光干涉系统，可根据技术指标要求对本规范的试验参数进行适当调整。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T19624在用检验、测量和试验设备符合性评定指南JJF1059.1测量不确定度评定与表示GB/T27407实验室质量控制规范物理检测JJG739激光干涉仪检定规程

3术语和定义

3.1激光干涉仪臂长激光干涉仪测量光路中参考臂与测量臂的光程长度，对于双臂干涉结构，特指测量臂从分光元件到测量反射镜的光程距离。3.2臂长稳定性在规定的环境条件和工作状态下，激光干涉仪臂长在连续观测周期内的最大偏差量，反映设备对环境扰动的抑制能力与长期测量可靠性。3.3等效光程漂移由于环境温度变化、振动、气流扰动等因素导致的臂长实际变化量，以纳米（nm）为单位表示。

4试验条件

4.1环境条件