JJF (电子) 0139-2025 在片 SOLT 校准件校准规范标准立项发展报告.docx

在片SOLT校准件校准规范标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:CalibrationSpecificationforOn-waferSOLTCalibrationKits

摘要

随着第五代移动通信、卫星互联网、雷达探测和人工智能等技术的快速发展，微波毫米波半导体器件与射频芯片的研制和应用规模持续扩大，在片（晶圆级）测试已成为芯片研发与量产筛选的关键测量手段。在片SOLT（短路-开路-负载-直通）校准件是在片矢量网络测量中建立基准参考平面的核心计量器具，其量值的准确性与溯源能力直接决定芯片散射参数等