CN119069376A 一种外延前的晶圆表面缺陷检测方法及装置 (江苏永鼎股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-10-07 发布于重庆
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CN119069376A 一种外延前的晶圆表面缺陷检测方法及装置 (江苏永鼎股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119069376A

(43)申请公布日2024.12.03

(21)申请号202411477445.9G01N21/95(2006.01)

G06T5/73(2024.01)

(22)申请日2024.10.22

G06T5/90(2024.01)

(71)申请人江苏永鼎股份有限公司

地址215200江苏省苏州市吴江区汾湖高

新区国道路1788号

(72)发明人周莉沈锋陆佳腾潘静雯

计忠华

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权

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